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高性能空心阴极灯含有中空管状的阴极，由金属元素或者含有该金属的合金制成，密封于充有低压的稀有气体玻璃管内。通过辉光放电，从而获得阴极中的元素的谱图。具有谱线发射强度高、稳定性好的优点，使用高性能空心阴极灯可提高测定灵敏度、改善曲线的线性、降低检出限。因此可以使用更大的频谱带宽来进一步提高能量。
一般来说，由低熔点和易挥发元素如铋、铅、锑、硒、锌等制成的高性能空心阴极灯具有较好的应用。
多数高性能型空心阴极灯内充入氖气，有少数灯充氩气。凡是正常的灯在供电点亮后，从灯的辉色光调来观察，充氖气的灯应有明显的橙色光；充氩气的灯应发紫色光。
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